9月4日ღღ，第13届半导体设备与核心部件及材料展（CSEAC 2025）ღღ、第13届中国电子专用设备工业协会半导体设备年会在无锡太湖国际博览中心开幕ღღ。

　　在半导体生产制造中ღღ，高精度传感技术直接决定了设备的工艺稳定性与产品良率ღღ。其控制系统对环境参数ღღ、工况参数以及材料物化特性等的感知与反馈都极为重要ღღ。“智感芯未来-半导体设备高精传感技术协同创新发展论坛”汇聚半导体设备制造商ღღ、传感器制造企业及科研院所的专家学者ღღ，分享最新科研成果与实际应用案例ღღ，共同探讨如何通过技术创新赋能产业升级ღღ。

　　当半导体行业快步挺进 3 nm 乃至更先进的节点ღღ，晶圆良率的每一次跃升ღღ、缺陷检测的每一纳米推进ღღ，以及关键部件的国产化替代ღღ，都在把“超高精度传感”推向技术擂台中央ღღ。传感系统已成为先进制程设备的“神经末梢”——它的精度ღღ、稳定性与多传感协同能力ღღ，直接决定工艺窗口的宽窄ღღ、良率爬坡的速度ღღ，乃至国家产业竞争的胜负ღღ。

　　AI分析结构化验证和最优方案筛选ღღ。以灵活的模块设计和高效的客制化开发团队ღღ，极大的缩短了现场交付周期和检验工艺的迭代ღღ。

　　在半导体检验领域三门齐开ღღ，确实存在大量对细节要求极高的场景ღღ，这些场景往往难以直接通过AI模型实现自动化ღღ，尤其是在面对复杂ღღ、多变且高度定制化的检验手册时ღღ。张建荣先生提到的“三角形材料图像”为例ღღ，其检验流程不仅涉及图像预处理ღღ、背景均衡long8官网登录ღღ、样本分离long8官网登录ღღ、粘连分离等基础操作ღღ，还需驱动电动平台搜索足够样本ღღ，执行多重筛选（如剔除杂质ღღ、不完整样本ღღ、形态不符样本）ღღ，最终对目标样本进行几何参数测量ღღ、数据覆盖合并及统计输出ღღ。这一过程不仅技术链条长ღღ，且每一步都需严格对应客户手册中的细致要求ღღ，如每颗样本输出16组数据ღღ，累计检验5000颗后生成统计报告ღღ。

　　然而ღღ，当检验标准细化到如“每颗样本需测量16项几何参数并逐颗比对形态一致性”时ღღ，AI模型的泛化能力便显得不足ღღ。原因在于ღღ，这类任务不仅要求极高的图像解析精度ღღ，还需将检验逻辑与客户的特定工艺规范深度耦合ღღ，而现行AI模型多基于大规模通用数据训练ღღ，缺乏对特定工艺背景的理解能力ღღ。此外ღღ，半导体检验中的“干扰”往往并非随机噪声ღღ，而是与工艺过程密切相关的系统性偏差ღღ，如光刻胶残留ღღ、刻蚀不均等ღღ，这些干扰的识别与剔除需结合工艺知识进行逻辑判断ღღ，而非单纯依赖图像特征分类ღღ。

　　未来ღღ，随着半导体工艺的持续微缩与复杂度提升ღღ，此类客制化的深度检验方案ღღ，或将成为高端制造环节中的关键支撑技术ღღ。

　　对于这个fab而言ღღ，他们最关注的是晶圆高良率ღღ，那么怎么能够保证这个晶圆的高良率呢？fab厂主要关注有几个几个方面ღღ：

　　第三ღღ，服务方面需要做到这个7乘24小时的实际的响应ღღ，同时我们在零部件方面需要做到这个可更换实现可控ღღ。

　　对于fab厂而言ღღ，国产的这个设备相对于海外还是有些差距ღღ。质量方面ღღ，国产设备质量稳定的可靠还是有一些差距ღღ。

　　第二ღღ，海外的有一些广发件的交期比较长啊ღღ，往往可能就要三个月四个月啊ღღ。这样的话ღღ，对于客户的这种项目的这种交付还是有一些这个困难ღღ。

　　第四ღღ，设备需要做一些维保ღღ，需要做一些更换了一些零部件ღღ，往往需要去找这种进口的这种定制品ღღ，就很难去做到快速的获取ღღ，就会影响到整个发布厂的一个维护ღღ。

　　福建鑫途光电的林静女士表示ღღ，科学相机要区分与普通的工业相机ღღ。鑫途光电认为科学相机是对在对光子在物理特性光子束以及空间时间定位上的光信息进行定量的测量ღღ。科学相机ღღ，在这个意义上ღღ，它其实是一套精密的仪器ღღ，它是光子的度量的衡器ღღ。

　　半导体设备为何需要科学相机？这主要源于半导体缺陷检测的严苛要求——缺陷信号极其微弱ღღ，客户常会提出能否区分一个DN（数字单位ღღ，代表极微小信号差异）这样高精度需求ღღ。

　　明场（强光）场景ღღ：在强光照射下ღღ，检测目标是已布满电路的晶圆ღღ，需从明亮背景中识别微小缺陷ღღ。此时核心挑战是提升信噪比ღღ，即强化有效信号ღღ、抑制噪声干扰ღღ。

　　暗场（弱光）场景ღღ：周围环境极暗且信号微弱ღღ，此时可能需通过提高光源亮度或相机/传感器增益来增强信号ღღ。但过度提高光源亮度可能烧毁晶圆ღღ，增益过高则会引入噪声ღღ，如何在两者间取得平衡成为关键ღღ。

　　高动态范围是重要解决方案之一ღღ，它需同时适应明场与暗场环境ღღ，在更宽的信号范围内保持检测能力ღღ。不过ღღ，不同场景下的关键技术要素存在差异ღღ。

　　信噪比公式中ღღ，分子为信号光子经光电转化后的电子信号ღღ，分母为噪声总和ღღ。科学相机中的噪声主要分为四类ღღ：读出噪声ღღ、光散粒噪声ღღ、暗电流噪声三门齐开ღღ、量化噪声ღღ。

　　KOL-FIT株式会社总经理增山英树介绍三门齐开ღღ，超洁净技术在日本被称为UCT最早由日本东北大学教授提出ღღ，并自20世纪80年代起在该领域展开系统性研究与应用ღღ。1980年ღღ，日本东北大学率先引入UCT技术ღღ，通过优化工艺流程与污染控制ღღ，显著提升了半导体制造的良率与稳定性ღღ。四年后的1984年ღღ，该技术被正式提供给英特尔公司ღღ，助力其突破生产瓶颈ღღ，进一步验证了UCT在半导体行业的技术价值ღღ。

　　进入20世纪90年代ღღ，随着半导体产业对精密制造需求的提升long8官网登录ღღ，多家日本企业（如东京电子ღღ、长野机械等）在东北大学教授的指导下ღღ，将UCT技术纳入生产标准体系ღღ。这一技术逐渐成为日本半导体制造的核心规范之一ღღ，其核心要素可归纳为以下三点ღღ：

　　1ღღ、晶圆表面洁净度ღღ：UCT技术要求晶圆表面必须达到超高洁净标准ღღ，以避免微粒ღღ、有机物或金属杂质对后续工艺造成污染三门齐开ღღ。通过严格的清洗流程与洁净室环境控制ღღ，确保晶圆表面缺陷率降至最低ღღ。

　　2ღღ、工艺环境洁净度ღღ：除晶圆本身外ღღ，供给气体ღღ、设备腔体等工艺环境需维持极端洁净状态ღღ。技术规范明确要求ღღ，所有影响产品良率的参数（如气体纯度ღღ、温度ღღ、湿度等）必须严格控制在指定范围内ღღ，避免因环境波动导致工艺偏差ღღ。

　　3ღღ、全流程污染控制ღღ：UCT技术的核心在于对制造全过程的动态监控与参数闭环管理ღღ。例如ღღ，通过实时监测水分含量ღღ、温度梯度等关键指标long8官网登录ღღ，结合自动化反馈系统ღღ，确保每一环节均符合洁净度要求ღღ。这种“全流程可控”的理念ღღ，是UCT区别于传统技术的关键特征ღღ。

　　对于会与化学品接触的部件ღღ，必须满足无离子吸附ღღ、无离子溶出且不发生化学反应的特性ღღ。佰控的金属部件ღღ，采用了与半导体级同标准的材料ღღ，并运用 EP 处理工艺ღღ，有效避免了金属离子的溶出三门齐开ღღ。

　　非金属部件方面ღღ，全部选用半导体级的 PFA 材质ღღ，这种材质能够很好地适配超纯水三门齐开ღღ、强酸强碱等特殊环境ღღ。

　　另外ღღ，在结构设计上ღღ，百控采用了一体式成型设计ღღ。这一设计方案源自航空传感器的设计理念ღღ，我们将其引入半导体行业ღღ。一体化设计的优势在于没有密封圈ღღ。

　　苏州佰控传感技术建有 ISO class 五百级的洁净室long8官网登录ღღ，整个生产环节均在洁净空间内完成ღღ，从而能够有效控制颗粒污染ღღ。对于内腔流体ღღ，公司进行了超洁净清洗和热氮吹扫处理ღღ。苏州佰控传感技术拥有自己的制氮机ღღ，所有的氮气和超纯水均由我们自行制备供应ღღ。产品也经过了严苛的半导体 particle 相关检测ღღ。

　　第三大关键要点ღღ，也是传统仪表行业较为关注的ღღ，即高精度long8官网登录ღღ。在先进制程中ღღ，尤其是三纳米以下的情况ღღ，压力ღღ、温度ღღ、流量等参数的微小偏差ღღ，都可能导致光刻偏移ღღ、刻蚀不均等问题ღღ，进而直接影响芯片的良率long8官网登录ღღ。

　　苏州佰控传感技术在这一领域ღღ，与国内头部半导体设备厂商开展研发合作三门齐开ღღ。今年ღღ，我们已成功开发出二十帕微压产品ღღ。

　　2025 年中国 RISC-V 生态大会ღღ，9 月 10 日在深圳国际会展中心（宝安新馆）举办ღღ，是光博会ღღ、Semi-e分论坛ღღ，亚太芯谷ღღ、芯榜等承办ღღ。10 日 13:00-17:00 主论坛将发布相关白皮书ღღ，现场揭晓 “金榜奖”ღღ。欢迎扫码报名ღღ：龙8中国唯一官方网站ღღ，龙8long8国际唯一官方网站ღღ，半导体ღღ，long8官方网站登录ღღ，龙8头号玩家long8官网登录ღღ，龙8游戏官方进入